반도체 리소그래피 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사가 국제 광공학회에서 기가포톤 연구부 기술 어드바이저인 스즈키 아키요시가 “SPIE Frits Zernike Award in Microlithography”를 수상하는 동시에 부사장 겸 CTO인 미조구치 하카루가 SPIE 펠로우로 선출되었다고 발표했다.

리소그래피 기술의 주요 학회인 SPIE에 의해 지난 2002년에 창설된 Frits Zernike Award는 1953년에 위상차 현미경으로 노벨 물리학상을 수상하였고 리소그래피 기술에도 많은 영향을 준 Zernike 박사의 이름을 따 ‘리소그래피계의 노벨상’이라고도 불리는 권위 있는 상이다. 이 상은 업계에서 특히 두드러진 활약을 한 사람에게만 수여되며 수상자는 지금까지 14명에 이르지만 일본인이 수상한 것은 스즈키 어드바이저가 처음이다. 스즈키의 수상은 40년 이상의 경력 속에서 콘택트 노광기, 1:1 스캐너, g선, i선, KrF 스테퍼, KrF/ArF/액침 스캐너, EUV 노광기, NIL 등 여명기부터 현재에 이르는 모든 광 리소그래피 장치의 기술 혁신에 기여한 업적을 인정받은 것이다.

스즈키 어드바이저는 “SPIE라는 학술 단체에서 산업계 사람이 이런 상을 받을 수 있다는 것은 우리가 연구 개발하고 있는 리소그래피 기술이 사이언스의 측면도 강하게 지닌 도전적인 하이테크 산업의 일익을 담당하고 있다는 증거라고 생각한다”며 “함께 일해 온 여러분께 감사드린다”고 말했다.

또한 기가포톤 부사장 겸 CTO인 미조구치 하카루가 오랜 세월에 걸쳐 리소그래피 기술에 공헌한 사람에게 주어지는 SPIE의 펠로우로 선출되었다. 이 칭호는 DUV 레이저에서 EUV 광원에 이르는 약 30년에 걸친 미조구치 부사장의 선단적인 제품 개발 실적과 이를 뒷받침하는 100개 이상에 이르는 논문 기고를 인정받아 수여된 것이다. 또한 광원 기술자로서의 펠로우 선출은 세계 최초의 쾌거이기도 하다. 또한 이번 미조구치 부사장의 선출로 이 학회에서의 리소그래피 관련 일본인 펠로우 6명 중 앞서 말한 스즈키, OB인 오카자키 신지를 포함해 3명이 기가포톤 관계자이다.

미조구치 부사장은 “이번의 펠로우 선출은 논문 기고뿐만 아니라 거기에 적힌 기술을 실제 제품에 반영한 기가포톤과 관계자 여러분의 노력에 대한 평가라고 받아들이고 있다”며 “이에 여러분과 기쁨을 나누는 동시에 다시 한번 감사드린다”고 말했다. 이어 “앞으로도 펠로우라는 이름에 부끄럽지 않도록 기술 개발의 추진 및 후진 양성에 전념하겠다”고 덧붙였다.